日本MEG對齊單元

深圳納加霍里科技專業代理銷售日本MEG對齊單元X9113A-C 產品特點如下：

日本MEG對齊單元X9113A-C用于光學或機械系統的精密對齊（Alignment），常見于半導體設備、激光加工系統、高精度檢測儀器等需要微米級定位的場景。

精密儀器制造商，專注于光學、電子測量設備。

小型緩沖類型主體□30mm濃縮緩沖必要的功能，緊湊節省空間，高速運行，備有帶馬達型號、外部驅動型號，此外，還可以選擇主體安裝方式和鰭片形狀等

備有本體安裝部形狀、指狀物形狀、驅動方式等多種種類。

小型類型的基本機構原封不動，實體從上側用M3螺絲能安裝的模型，小型A型還備有可實現閉環控制的α STEP馬達型號。

這是一種小型類型，有多年的經驗，本體安裝，利用本體背面的M2抽頭，備有帶M2螺絲5相步進馬達和外部驅動的連接類型。

小型A型的基本機構是原封不動地從本體側面拿出鰭片的模型，主體上面沒有角孔，小型AP類型還準備了可實現閉環控制的α STEP馬達型號，主體安裝從主體上面用M3螺絲擰緊。

核心功能

高精度調整：通過精密機械結構或壓電驅動實現亞微米級（可能達0.1μm以下）的位置校準。

多軸控制：可能支持X/Y/Z三軸或傾斜（θx/θy）方向的獨立調整。

集成傳感器：部分型號內置位移傳感器或光學編碼器，實時反饋位置信息。

兼容性：適配多種光學元件（透鏡、反射鏡）或機械組件。

應用領域

半導體制造：光刻機組件對齊。

激光加工：光束路徑校準。

科研儀器：干涉儀、顯微鏡的樣品臺定位。

產品特點

剛性設計：鋁合金或不銹鋼材質，確保穩定性。

防震設計：減少環境振動影響。

模塊化：可與其他MEG單元組合使用（如旋轉臺X系列）

技術參數

規格

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